陈洪存1,王矜奉1,李明明2
(1?山东大学物理系,山东济南250100)
(2?济南大学物理系,山东济南250002)
1引言
含有Bi2O3、CoO、Cr2O3和Sb2O3等金属氧化物添加剂的ZnO半导体陶瓷,不仅具有与齐纳二极管相当的非线性电流-电压特性,而且具有优异的浪涌吸收能力。ZnO压敏电阻器在瞬间能吸收几焦乃至数千焦电浪涌的能力,使之在过电压保护,电子器件、电子设备和负荷开关的浪涌吸收电路,电子装置中的瞬间脉冲抑制等领域得到广泛而有效的应用。为了进一步提高ZnO压敏电阻器的非线性特性,人们用IIIA和ⅤA族金属氧化物对ZnO压敏电阻器进行了掺杂改性研究。
本文重新研究了In2O3对ZnO压敏电阻器性能的影响,获得了前所未有的实验结果。这种ZnO压敏电阻器的击穿电场强度达326V/mm,漏电流小于1μA,非线性系数α值达107,通流量高达4kA/cm2。
2样品制备与性能测量
以ZnO为主体原料,加入重量比为3%~4%Bi2O3、1%~2%Co2O3、0.5%~1.0%SiO2、0.4%~0.8%MnO2、2%~3%Sb2O3、0.018%~0.14%In2O3和0.001%~0.01%ZrO2等金属氧化物,采用搅拌磨超细粉碎制备粉料,低温快速烧结,加入过量Bi2O3以补偿其在烧结过程中的挥发等工艺。
样品的尺寸为?13.5mm×2.0mm,使用HX2732压敏电阻直流参数测试仪测量了样品的压敏电压Vc(V1.0mA)和非线性系数α,应用SL?II雷电冲击实验系统和日本PEEC冲击电流发生器进行了浪涌通流实验,通流条件是8μs×20μs波6kA冲击,冲击后测量了压敏电压的变化,并计算了压敏电压的相对变化率△VC·VC-1%。
3结果与讨论
3.1非线性系数α与粉料粒径的关系
表1给出Sb2O3含量为0.7mol%和0.15mol%、粉碎时间不同(导致粒径不同)的粉料在相同烧成条件下样品的非线性系数α值。
表 1 非 线 性 系 数 α 粉料粒径/μm α
0.5~1.0 90~110
5.0~10 50~85
10~20 30~50
从表1可以看出,粉料越细,α值越高,可见超细粉碎是制备具有超高α值压敏电阻器的有效手段。
3.2α值与Sb2O3含量的关系(0.15mol%In2O3)
图1α值与Sb2O3含量的关系
图2电压梯度与Sb2O3含量的关系
图1给出了在相同工艺条件下样品的α值与Sb2O3含量的关系。
从图1可以看出,当In2O3的含量为0.15mol%,Sb2O3的含量少于0.7mol%时,随Sb2O3含量的增加,α值逐渐增大;当Sb2O3含量等于0.7mol%时,α为110;当Sb2O3含量大于0.7mol%时,随其含量增加,α值反而逐渐下降。
3.3电压梯度与Sb2O3含量的关系(0.15mol%In2O3)
图2给出了电压梯度与Sb2O3含量的关系。从图2可以看出,随着Sb2O3含量的增加,压敏电阻器的电压梯度逐渐增加,ZnO压敏电阻器的压敏效应来源于每个晶界为3.2V的突变电压,电阻器的压敏电压可近似看成是厚度方向上一系列3.2V电压的串联,因此,单位厚度间的晶粒越多,电阻器的电压梯度就越大。Sb2O3含量增加,电压梯度增大,说明在实验范围内,Sb2O3含量增加,晶粒尺寸变小,即Sb2O3起到了抑制ZnO晶粒生长的作用。
3.4α值、电压梯度、雷脉冲冲击后电压变化率与烧结温度的关系
表2给出了Sb2O3含量为0.7mol%和0.15mol%In2O3的同种瓷料在不同烧结温度(保温时间都为2小时)下样品的通流能力、α值和电压梯度的变化情况。
与 烧 结 温 度 的 关 系 烧结温度 α值 电压梯度/V1mA/mm △VC·VC-1%(8/20μs 6kA冲击后)
950℃ 82 450 -12.4~-16.5
1 060℃ 110 380 -4.2~-6.1
1 150℃ 80 320 -7.4~-8.2
1 230℃ 65 240 -8.1~-12.5
从表2可以看出,烧结温度是决定压敏电阻器性能的关键因素。图3是从600℃到1060℃用150min烧成样品的金相图。从图3可以看出,样品致密,晶粒大小均匀。该样品压敏性能优异,通流量高达4kA/cm2,非线性系数α值达110,压敏电压梯度为380V/mm,即使使用8/20μs6kA雷脉冲冲击后,压敏电压变化率也不大,仅为-4.2%~-6.1%。
图31060℃用150min烧成样品的扫描电镜照片
4结语
(1)适当添加Sb2O3能大幅度提高ZnO压敏电阻器的非线性系数α。
(2)适当添加Sb2O3能大幅度提高ZnO压敏电阻器的电压梯度。
(3)适当添加In2O3能大幅度降低ZnO压敏电阻器的漏电流。
(4)适当添加In2O3能大幅度提高ZnO压敏电阻器的通流能力。
(5)ZnO压敏电阻器的击穿电场强度达326V/mm,漏电流小于1μA,非线性系数α值达107,通流量高达4kA/cm2,即便使用8/20μs6kA雷脉冲冲击,其压敏电压变化率也仅为-4.2%~-6.1%。
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